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Orbisphere 510微量溶解氧在电子厂的应用

2020-11-25，星期三

1.背景介绍

在半导体行业，纯水中溶解氧的含量直接关系到产品品质，若水质不良，会造成产品污染而影响品质。半导体行业一般选用脱气膜去除溶解氧，通过憎水纤维膜将液相和气相分开，再将气相抽真空，使得气体被去除；此时，液相中的气体就会扩散到气相中，从而达到去除溶解性气体的作用。

湖北武汉某电子厂纯水工艺段在脱盐后及终端分配单元前安装了脱气膜工艺，在脱气膜后安装在线510微量溶解氧分析仪，用于监测脱气膜后的溶解氧含量。

应用情况

主要仪器及参数：510+31120溶解氧分析仪。仪器响应时间短（7.2S），分辨率高（0.01ppb）。

Orbisphere 510微量溶解氧在电子厂的应用

客户反馈情况：510在HACH经销商的长期维护下，运行正常，能够正常、快速反应脱气膜后的溶解氧值。

2.总结

针对客户现场工艺控制要求，510+31120微量溶解氧分析仪是一个很好的选择，客户满意度高。

优势：510快速响应能力（7.2S）及良好的重现性，专门为微量溶解氧设计的原理，简单的维护操作，坚固耐用的不锈钢设计，耐压最大可达200bar，是电子行业纯水溶解氧监测的首要选择。

该案例的推广价值：溶解氧是电子行业重要的监测指标，含量高低直接影响终端产品品质。510微量溶解氧分析仪，在正常的维护情况下，响应快，重现性及检出限完全满足现场测量需求，校准快速，维护简单，是一款监测电子行业纯水溶解氧的高性价比的在线仪表。