电子半导体行业纯水脱气膜工艺微量溶解氧管控存在哪些监测难点？

产品分类：产品选型与方案决策

更新日期：2026-09-29

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● 关键词摘要

脱气膜工艺，ppb 级监测，微量溶解氧，半导体工艺水质检测

● 解答

半导体制造对纯水微量溶解氧指标管控严格，纯水当中溶解氧超标会造成产品污染，直接影响成品品质。行业普遍采用脱气膜工艺去除纯水内溶解氧，依靠憎水纤维膜分隔液相与气相，通过气相真空抽取实现水体溶解气体脱除。部分电子厂在脱盐之后、终端分配单元之前设置脱气膜单元，工艺控制溶解氧指标要求小于 10ppb，需要开展 ppb 级的溶解氧实时监测。传统检测手段难以满足超纯水微量溶解氧的监测要求。

一、传统实验室检测方式局限性
人工取样过程极易造成空气复氧，无法获取真实的 ppb 级溶解氧数据；取样化验存在时间滞后，不能实时反馈脱气膜装置运行波动；检测重现性差，难以捕捉 10ppb 以内的微量浓度变化，无法及时对脱气膜工艺异常进行预警。

二、现代微量溶解氧在线分析成套系统核心特性
1. 测量原理与性能
专门针对 ppb 级微量溶解氧在线监测开发；仪表响应速度快，响应时间 7.2S，测量重现性良好，校准流程快速；现场实测溶解氧稳定维持在 7‑9ppb，可满足电子纯水小于 10ppb 的工艺控制指标。
2. 设备安装规范与结构优势
①条件：安装于脱盐后、终端分配单元前，脱气膜工艺下游点位，采集纯水水样开展监测。
②配套部件：搭配专用控制器组成整套监测单元，输出实时溶解氧监测数据，服务脱气膜工艺运行管控。
③供电 / 运维适配：采用不锈钢结构，设备坚固耐用；维护操作简单，依托厂区纯水车间供电系统长期运行。

三、应用总结
传统实验室取样检测容易引入空气中氧气干扰，数据失真且存在滞后，不能实现纯水微量溶解氧实时监控。微量溶解氧在线分析成套系统响应迅速、重现性好，可实现 ppb 级别溶解氧稳定测量，校准及维护简便，适配电子行业纯水脱气膜后微量溶解氧的工艺管控，保障半导体生产的纯水水质。